【芯片產業】全國首條ArF光刻膠生產線投產 勢破美日壟斷

經濟脈搏 11:49 2020/12/04

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南大光電建立全國首條ArF光刻膠生產線,未來有望助中國實現芯片原材料自主

高端的ArF光刻膠作為芯片(晶片)重要原材料,其供應長期被美國和日本企業壟斷,中國幾乎只能依賴進口,但這困境在未來有望打破。浙江寧波市政府近日宣布,寧波南大光電材料有限公司的首條ArF光刻膠生產線已正式投產,部份樣本已送到客戶做測試,爭取更多訂單。該項目完全達產後,預計實現約10億元(人民幣,下同)的年銷售額。分析相信,南大光電的生產線即使在短期內未能衝擊美日兩國的巨頭,但對中國將來實現芯片自主,無疑具重要意義。

南大光電的母企江蘇南大光電材料股份有限公司在2000年成立,以生產MO源(高純金屬有機源)為主要業務,2017年入股北京科華,跨入芯片關鍵材料之一的光刻膠產業。去年7月,公司設立光刻膠事業部,並成立了全資子公司南大光電,建立ArF光刻膠開發和產業化項目,其「193nm 光刻膠項目」隨後獲得國家「02 專項」立項。據此前的公告,南大光電計劃通過3年的建設、投產及實現銷售,達到年產25噸光刻膠,以滿足集成電路行​​業需求標準。

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同時,南大光電後將建成全國首個專業用於ArF光刻膠產品開發和生產的檢測評估平台,打造配套完整的國產光刻膠產業鏈。全個項目總投資額為6.56億元,其中國撥資金1.93億元,地方配套資金1.97億元,南大光電使用首發上市時的超募資金1.5億元用於本項目投資。

南大光電方面表示,該項目現時尚處於樣本驗證階段,預料需時12至18個月時間。ArF光刻膠除了工藝要求高,還存在穩定量產周期長、風險大等問題,故公司業務仍存在許多不確定因素。

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責任編輯:陳建錫

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