【芯片產業】全國首條ArF光刻膠生產線投產 勢破美日壟斷

高端的ArF光刻膠作為芯片（晶片）重要原材料，其供應長期被美國和日本企業壟斷，中國幾乎只能依賴進口，但這困境在未來有望打破。浙江寧波市政府近日宣布，寧波南大光電材料有限公司的首條ArF光刻膠生產線已正式投產，部份樣本已送到客戶做測試，爭取更多訂單。該項目完全達產後，預計實現約10億元（人民幣，下同）的年銷售額。分析相信，南大光電的生產線即使在短期內未能衝擊美日兩國的巨頭，但對中國將來實現芯片自主，無疑具重要意義。

南大光電的母企江蘇南大光電材料股份有限公司在2000年成立，以生產MO源（高純金屬有機源）為主要業務，2017年入股北京科華，跨入芯片關鍵材料之一的光刻膠產業。去年7月，公司設立光刻膠事業部，並成立了全資子公司南大光電，建立ArF光刻膠開發和產業化項目，其「193nm 光刻膠項目」隨後獲得國家「02 專項」立項。據此前的公告，南大光電計劃通過3年的建設、投產及實現銷售，達到年產25噸光刻膠，以滿足集成電路行​​業需求標準。

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同時，南大光電後將建成全國首個專業用於ArF光刻膠產品開發和生產的檢測評估平台，打造配套完整的國產光刻膠產業鏈。全個項目總投資額為6.56億元，其中國撥資金1.93億元，地方配套資金1.97億元，南大光電使用首發上市時的超募資金1.5億元用於本項目投資。

南大光電方面表示，該項目現時尚處於樣本驗證階段，預料需時12至18個月時間。ArF光刻膠除了工藝要求高，還存在穩定量產周期長、風險大等問題，故公司業務仍存在許多不確定因素。

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責任編輯：陳建錫